전컴654 플라즈마공정론 1반


1. 강의 목표

저온 플라즈마의 기본현상, 플라즈마 장비, 및 에칭/deposition, PDP에 대한 기본적인 이해를 목표로 함.

(Fundamentals for basic Phenomena in low-temp. plasmas, plasma devices, etching/deposition, plasma display panel)

2. 선수 과목 및 수강의 필수사항

전자기학(E&M) 1과목이상


3. 성적 평가 방법

Homeworks, Projects, Open-Book Exams


4. 강의 교재

MA Lieberman and AJ Lichtenberg, Principles of Plasma Discharges and Materials Processing (Wiley, 1994)


5. 참고도서


6. 강의 진도 계획

week (1) Chs. 1-2 (plasma basics)

week (2-3) Chs. 10 & 14 (global modeling; dc and plasma display)

week (4-5) Chs. 4-5 (plasma phys. & transport)

week (6-8) Chs. 7,8,9 (plasma chemistry)

week (9-10) Chs. 6,11,12 (plasma sheath & devices)

week (11-13) Chs. 15,16 (plasma etching and deposition)

*The above schedule subject to minor changes


7. 기타 참고 사항

To be taught in English

The updated announcements here to be watched constantly


8. 강의 자료

Lecture Note #1

Lecture Note #2

pdp관련 자료 (ch.14)

Lecture Note #3

Textbook Errata List(zip file)

Lecture Note #4

Lecture Note #5

Lecture Note of Chapter 7∼9(zip file)

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