EECE654 Plasma Processing (2011)

1. 강의 목표

- Fundamentals for basic phenomena in low-temp. plasmas, plasma devices, plasma applications to biomedicine, etching/deposition, plasma display and LCD backlight sources, and some plasma simulation techn.

2. 선수 과목 및 수강의 필수사항

- Electricity and Magnetism (E&M) at least one semester course at undergrad. Level

3. 성적 평가 방법

- Class assignments, students' participation via reviews of the past lectures

4. 강의 교재

- FF Chen and JP Chang, Lecture Notes on Plasma Processing Principles (Kluwer 2003): a rather concise textbook

5. 참고도서

-T Makabe and Z Petrovic, Plasma Electronics (Taylor and Francis 2006): the newest textbook around

-MA Lieberman and AJ Lichtenberg, Principles of Plasma Discharges and Materials Processing (Wiley 2005)

6. 강의 진도 계획

week (1-5)   Plasma Basics Plus Plasmas for Biomedicine

week(6-10)   Plasma Phys. and Chemistry

week (11-12) Plasma Devices

week (13-15) Plasma Etching and Deposition -schedule tentative

7. 기타 참고 사항

- English to be used in class; class ppt/pdf available 30 mins after class

- To be graded separately for plasma majors and non-plasma majors;

- Some Lieberman lecture videos and Makabe lecture videos

8. 강의 자료


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